Sistema de forno PECVD
Este produto é um sistema PECVD de tamanho médio e abertura deslizante. Este sistema de forno tubular PECVD é equipado com uma fonte de alimentação de plasma RF, um sistema de mistura de gás de fluxo de massa de três vias (com faixas de 1-100 SCCM, 1-200 SCCM e 1-200 SCCM), um forno de tubo aberto de 60 mm de diâmetro (com flange de vácuo e tubulação de conexão) e uma bomba mecânica.
Informações sobre o produto
| Modelo de produto | Sistema de forno tubular PECVD deslizante —— OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Principais parâmetros do produto | Fonte de alimentação: 220V 50/60Hz; Potência nominal: 3,1 kW; Temperatura máxima de operação: 1200°C (<0,5 h); Temperatura de operação contínua: ≤1100°C; Taxa de aquecimento recomendada: ≤10°C/min; Comprimento da zona de aquecimento: 440mm; Termopar: tipo K |
| Principais recursos | A fonte de alimentação RF pode alcançar o aprimoramento do plasma e reduzir significativamente a temperatura experimental; o rápido aumento e queda da temperatura pode ser alcançado deslizando o corpo do forno; a tensão do filme pode ser controlada pela frequência da fonte de alimentação de RF; a estequiometria pode ser controlada por ajuste de processo; vários materiais como SiOx, SiNx, SiOxNy e (a-Si:H) podem ser depositados |
| Elemento de aquecimento | Fio de liga de ferro-cromo-alumínio 0Cr21Al6Nb |
| Tamanho do tubo do forno | Diâmetro do tubo de quartzo opcional: Φ60 |
| Sistema de controle de temperatura | Inclui um controlador de temperatura YD858; Controle PID e ajuste de autoajuste, controle programável inteligente de 50 segmentos, com funções de alarme de superaquecimento e desgaste; precisão do controle de temperatura: ± 1 ℃ |
| Fonte de alimentação de plasma RF | Fonte de alimentação RF de 300W; Potência de saída: 0~300W ajustável; Frequência de RF: 13,56 MHz; Correspondência automática; Nível de ruído <50dB; Método de resfriamento: Resfriamento a ar; Tensão de entrada: 180 ~ 250V |
| Interface de flange de vedação a vácuo | Configuração padrão: um par de flanges de vácuo de aço inoxidável e anéis de vedação de silicone de alta temperatura; os flanges de saída são flanges de três portas K16, KF25 e Φ8.2; o flange de saída pode ser conectado ao adaptador KF25 com fole e depois à bomba de vácuo. |
| bomba de vácuo | Adote a bomba de vácuo mecânica de palheta rotativa dupla TRP-12; o grau de vácuo pode chegar a 10-2torr; os acessórios de conexão a vácuo são equipados com braçadeiras KF25 e foles de aço inoxidável para conectar o forno tubular e a bomba de vácuo |
| Sistema de abastecimento de gás | Sistema de mistura de fluxo de massa de três vias - GYS-3Z; Fonte de alimentação: 220V 50/60Hz; Faixas de medição: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Um manômetro mecânico é instalado no painel frontal e conectado ao tubo de mistura; Faixa do manômetro: -0,1-0,15MPa; Tamanho do tanque de mistura: Φ80*120mm; O tubo de conexão interno é Φ6,35 |
| Estrutura do forno | O corpo do forno pode ser movido para a esquerda e para a direita, e a fonte de alimentação de RF pode ser movida para a esquerda e para a direita. O corpo do forno e a fonte de alimentação RF são instalados no mesmo trilho deslizante e usam o mesmo tubo de quartzo. |
| Padrões de certificação e componentes principais | Os componentes principais de toda a máquina estão em conformidade com CE, UL, MET e outros padrões de certificação; os componentes principais incluem componentes elétricos ABB, fios e cabos certificados pela UL, instrumentos Omega, Yudian, Continental, etc. |
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Fibra de cristal Co. de Zhejiang Nengcheng, Ltd.
Fibra de cristal Co. de Zhejiang Nengcheng, Ltd. º A empresa foi fundada em 2015. É uma empresa profissional que desenvolve e produz materiais ultraleves e económicos para altas temperaturas, e vende fornos elétricos experimentais, fornos elétricos industriais e fornos elétricos personalizados não normalizados. Profissional Sistema de forno PECVD Fabricantes e Sistema de forno PECVD Fábricaº A empresa adere ao princípio da "sobrevivência pela qualidade, desenvolvimento pela reputação" e defende a filosofia empresarial da "praticidade, integridade e eficiência". Estamos empenhados em fornecer soluções de equipamentos abrangentes e de alta qualidade a clientes de setores como a cerâmica, metalurgia, eletrónica, vidro e engenharia química. Também prestamos serviços como calcinação de pós, sinterização de cerâmica e experiências de alta temperatura para universidades, institutos de investigação e empresas industriais e de mineração. Ao mesmo tempo, também nos esforçamos por promover o desenvolvimento estratégico da fibra de alumina de alta temperatura leve, económica e ecológica da Nengcheng no campo dos novos fornos, e procuramos tornar-nos um fornecedor de serviços líder internacional na indústria de equipamentos avançados de alta temperatura. Sistema de forno PECVD Personalizado.
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